真空热处理是指模具钢在真空度为113.2Pa~133.2*10-6Pa的物质空间中进行的热处理工艺。模具钢在真空加热时，引起表面的物理状态以及化学成分的显著变化，随着真空度的提高，加热室内气体公子浓度可以由一个大气压下2.7*1019分子/cm3降低到3*10-13分子/cm3。与此同时，氧的分压降到极低，因此，不仅使金属不会在加热过程中发生氧化、脱碳以及其他化学腐蚀，而且还具有表面净化、脱脂、除气等作用，还可以得到洁净光亮的表面。模具钢经过真空热处理后，不仅可以获得洁净光亮的表面，而且其使用寿命也获得大幅度提高，同一般热处理相比，使用寿命提高40%以上。另外，真空热处理不发生氧化脱碳，所以模具针对氧化脱碳而设定的加工余量就可取消，就可降低模具钢的消耗，削减模具的制造成本。正是基于些，一些模具采用真空热处理。
真空热处理是在极稀薄的气氛中进行，炉残存的微量气体不足以被处理的金属材料产容生氧化脱碳、增碳等作用。所以它的好处是可以使金属材料表面的化学成分和原来的光亮度保持不变。
另外真空热处理还能帮助金属脱脂和排除H2 、O2、N2 、CO等气体以及分解氧化物等好处。
热处理最好是交给有能力做热处理的材料供给商去做，能保证品质和时长，因为现在价格竞争较大，很多热处理厂报价极低，大家都知道热处理是高耗电加工，少做一秒，就少不少钱，所以价格低就有可能做的时间不够，也不一定是真空热处理。
